Предисловие

Условные обозначения

Физические принципы применения лазеров

Лазерная техника

Физические процессы при обработке материалов лазерным излучением

Лазерное технологическое оборудование

Технологические операции с применением лазеров

Лазерния технология полупроводников

Лазерное осаждение слоев

Свойства лазерных вакуумных конденсатов

Лазерная обработка пленочных элементов

лазерная обработка пленочных элементов

особенности взаимодействия лазерного излучения с тонкими пленками

лазерная термохимическая обработка пленок

окисление

термохимические методы получения рисунков

лазерный отжиг

локальное удаление пленок

получение рисунка

подгонка пленочных резисторов

подгонка тонкопленочных конденсаторов

ремонт микросхем и кристаллов памяти

Лазерная запись информации

Список литературы