Физические принципы применения лазеров
Физические процессы при обработке материалов лазерным излучением
Лазерное технологическое оборудование
Технологические операции с применением лазеров
Лазерния технология полупроводников
химические методы осаждения слоев
селективное осаждение металлических слоев
осаждение диэлектрических пленок
вакуумное лазерное напыление пленок
лазерные установки осаждения пленок
импульсные лазерные испарители
испарители непрерывного действия
метод импульсно-плазменного испарения (ИПИ)
испарительные системы с лазером в качестве дополнительной энергии
физические явления в процессе испарения
особенности процессов конденсации при лазерном испарении
возможности лазерного напыления пленок
Свойства лазерных вакуумных конденсатов
Лазерная обработка пленочных элементов