СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
Лабораторная работа № 1
Работа с откачным оборудованием сверхвысокого
вакуума
Лабораторная работа №2
Наблюдение остаточной атмосферы в установке
МЛЭ масс-спектрометром МХ-7304
Лабораторная работа №3
Испытание вакуумных систем на герметичность
ПРИЛОЖЕНИЕ