СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
1. Лазеры в технологии/ Ф.Ф.Водоватов, А.А.Чельный, В.П.Вейко, М.Н.Либенсон. Под общ. ред. М.Ф.Стельмаха. М.: Энергия, 1975. 215 с.
2. Верховский Е.И. Лазерная технология в производстве интегральных микросхем. М.: Высшая школа, 1990. 56 с.
3. Применение лазеров в науке, технике и технологии / А.С.Проворов, А.Г.Сизых, А.В.Сорокин, Красноярск, Изд-во КГУ, 1988. 84 с.
4. Моряков О.С. Элионная обработка. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники: Кн.7., М.: Высшая школа, 1990. 127 с.
5. Звелто О. Принципы лазеров. М.: Мир, 1990. 550 с.
6. Вейко В.П. Лазерная обработка пленочных элементов. Л.: Машиностроение, 1986. 248 с.
7. Гапонов С.В. Лазерное напыление пленок // Вестник АН СССР. 1984. N 12. С.3-10.
8. Манухин В.Н., Савельев В.А. Лазерные методы получения и обработки тонких пленок: обзор // Зарубежная радиоэлектроника. 1977. N 1. С.30-51.
9. Вакуумная технология получения тонких магнитных пленок: Препринт N 406-Ф / В.С.Жигалов, В.П.Кононов, Г.И.Фролов, В.Ю.Яковчук, Красноярск: Ин-т физики СО АН СССР, 1987. 47 с.
10. Молекулярно-лучевое и лазерное напыление пленок. Технология и возможные применения: Препринт N 378-Ф / С.А.Гавричков, В.П.Кононов, Красноярск: Ин-т физики СО АН СССР, 1986. 40с.
11. Термомагнитная запись на пленочных сплавах переходных
и редкоземельных металлов: Препринт N 368-Ф / Г.И. Фролов, В.А. Середкин, В.Ю. Яковчук, Красноярск:
Ин-т физики СО АН СССР, 1986. 46с.
12. Properties of iron films with cluster structure / G.I. Frolov, V.S. Zhigalov, L.I. Kveglis // Cont. of Procc. of NANO-II, Her.of Russian Acaad. Techn. Sci. 1994. V. 1, N 7. P.242-250.
13. Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства
изделий электронной техники. / Н.В.Василенко, Е.Н.Ивашов, Л.К.Ковалев и др. Т. 1. Красноярск: Кн. изд-во; Сиб. аэрокосм. акад., 1995. 256 с.
14. Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства изделий электронной техники / Н.В.Василенко, Е.Н.Ивашов, Л.К.Ковалев и др. Т. 2. Красноярск: Кн. изд-во; Сиб. аэрокосм. акад., 1996. 416 с.
15. Физические принципы лазерного спектрального анализа: Препринт N 428-Ф: В 2 ч./ Л.Т.Сухов., Красноярск: Ин-т физики СО РАН, 1987. 110 с.
16. Алейников В.С., Беляев В.П., Юхвидин Я.А. Состояние и перспективы развития некоторых приборов квантовой электроники // Электрон. техн., 1970. сер.1. С.52-73.
17. Бункин Ф.В., Кириченко Н.А., Лукьянчук Б.С. Термохимическое действие лазерного излучения // УФН. 1982. Т.138. № 1. С. 45-93.
18 Бородина С.В., Волков В.Г., Голуб Н.М., Осипова А.М. Лазерное технологическое оборудование: обзор // Радиоэлектроника за рубежом. 1976. № 13. С. 3-24.
19. Кокора А.Н., Жуков А.А., Шалашов В.А. и др. Обработка стали лучом лазера // Металловедение и термич. обработка металлов. 1966. № 2. С. 41-42.
20. Технологическое применение газовых лазеров / Г.Б. Бубякин,
Г.Р. Левинсон, А.Н. Свиридов, и др. Л.: ЛДНТП. 1970. 32 с.
21. Вейко В.П., Либенсон М.Н. Лазерная обработка. Л.: Лениздат, 1973. 190 с.
22. Зверев Г.М.,
Дьякова Ю.Г., Шокин А.А. Твердотельные лазеры на АИГ:Nd
для народного хозяйства // Электрон. пром-сть. 1981. № 5-6. С. 15-19.
23. Косарев И.И., Москаленко В.Ф., Степанов В.А. Применение газоразрядных лазеров в микроэлектронике // Электрон. пром-сть. 1981. № 5-6. С. 56-60.
24. Крылов К.И.,
Прокопенко В.Г., Митрофанов А.С. Применение
лазеров в машиностроении и
приборостроении. Л.: Машиностроение,
1978. 336 с.
25. Вейко В.П., Либенсон М.Н., Таипов Р.А. и др. Лазерная технология: обзоры по электронной технике / Л.: Электроника. 1970. В. 68. 120 с.
26. Рыкалин Н.Н., Углов А.А., Кокора А.Н. Лазерная обработка материалов. М.: Машиностроение. 1975. 296 с.
27. Чельный А.А., Шелепина Р.В. Лазерное оборудование для технологических процессов // Зарубежная электрон. техн. 1978. № 1. С.39-75.
28. Высоцкий В.З. Лазеры. Киев. Наукова думка. 1973. 166 с.
29. Анисимов С.И., Имас Я.А., Романов Г.С., Ходыко Ю.В. Действие излучения большой мощности на металлы. М.: Наука. 1970. 632 с.