Лабораторная работа № 2. (8 час.)
Изучение плазменных колебаний в
твердом теле методом спектроскопии характеристических потерь энергии электронов.
Лабораторная работа № 3. (8 час.)
Определение контактной разности
потенциалов и работы выхода электронов методом электронного пучка.
Лабораторная
работа № 4. (8 час.)
Физические основы электронной оже-спектроскопии.
Лабораторная работа № 5. (8 час.)
Работа с откачным оборудованием
сверхвысокого вакуума.
Лабораторная работа № 6. (8 час.)
Получение пленок и структур методом
МЛЭ на установке "Ангара".
Лабораторная работа № 7. (8 час.)
Получение тонкопленочных покрытий
термическим испарением на установке ВУП-5.
Лабораторная работа № 8. (8 час.)
Наблюдение остаточной атмосферы
в установке напыления масс-спектрометром МХ-7304.
Лабораторная работа № 9. (8 час.)
Методы контроля поверхности образцов
с помощью дифракции быстрых электронов.
Лабораторная работа № 10. (8 час.)
Управление технологическим процессом
с помощью автоматической системы управления (АСУ).
Лабораторная работа № 11. (8 час.)
Программирование технологического
процесса напыления с помощью АСУ ТП.