Методические указания к специальному практикуму

по курсам «Физика поверхности и границ раздела» и

 «Технологические процессы и оборудование производства изделий электронной техники»

по специальностям 010400 – физика

и 200500 – электронное машиностроение

УДК 533.5;

 

         Получение и контроль сверхвысокого вакуума: Метод. указания к специальному практикуму по курсам «Физика поверхности и границ раздела» и «Технологические процессы и оборудование производства изделий электронной техники» /Сост.: А.Е. Худяков, С.Г. Овчинников, А.С. Паршин.- Красноярск: САА, 2000.- 39 с.

 

         Методические указания предназначены для выполнения лабораторных работ по курсам «Физика поверхности и границ раздела» (специальность 010400 – физика) и «Технологические процессы и оборудование производства изделий электронной техники» (специальность 200500 – электронное машиностроение) в Объединенной научно-учебной лаборатории «Физика поверхности» Красноярского научно-образовательного центра высоких технологий студентами Сибирской аэрокосмической академии, Красноярского государственного университета и Красноярского государственного технического университета.

         Указания содержат описание 3 лабораторных работ, в процессе выполнения которых студенты знакомятся с современным оборудованием и методами контроля сверхвысокого вакуума на базе технологического комплекса молекулярно-лучевой эпитаксии «Ангара».

 

                   ã Сибирская аэрокосмическая академия, 2000

 


mega-balt.ru продажа домов Солнечногорск